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| 平成11年度事業開始
熊本県 「超精密半導体計測技術開発」 pp.64 |
| | [PDF (16K)] |
 | | | 藤井 敏夫1), 相川 創1), 井上 知行2), 中田 明良3), 北野 高広4), 宮川 隆二5) |
| 1) テクノス(株)
2) (株)アラオ
3) 熊本大学
4) 東京エレクトロン九州(株)
5) 熊本県工業技術センター |
| | Abstract 液晶ディスプレイの製造プロセスにおいて、大型のガラス基板全面の膜厚ムラをマクロ的にインライン(高速)で膜厚ムラを自動解析し、欠陥検出を行う装置の開発 |
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