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平成11年度事業開始
熊本県 「超精密半導体計測技術開発」
  pp.62-63
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デバイス形成技術開発
液晶輝度ムラ検査装置開発

山川 昇1), 田口 智弘1), 大隈 義信2), 上村 直2), 大隈 恵治2), 黒木 卓也3), 園田 頼信4), 小山 善文5)
1) 櫻井エンジニアリング(株)
2) オオクマ電子(株)
3) 櫻井精技(株)
4) 熊本大学
5) 熊本電波高専
Abstract  主として人手による官能検査で行われている液晶表示装置の輝度ムラ検査を自動化するために、視角依存性を考慮した新しいコンセプトの輝度ムラ検査装置の開発を行う。

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