| デバイス形成技術開発 プラズマ異常放電監視法開発(その2: すばる主鏡傷検出システム)
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| 久保田 弘1), 園田 増雄2), 重森 清史2), 石松 賢治2), 宮川 隆二2), 中田 明良1), 家 正則3), 沖田 喜一3), 佐々木 敏由紀3), 宮下 暁彦3), 高遠 徳尚3) |
| 1) 熊本大学 2) 熊本県工業技術センター 3) 国立天文台 |
| Abstract 国立天文台すばる天体望遠鏡の反射鏡は、直径8.3mの巨大な石英ガラスからなり、その鏡面は能動的な矯正機構により常に力が加わっているため、万が一鏡に傷が入った場合、破壊にまで至る恐れがある。そのため、傷の発生と発生位置の早期特定が非常に重要である。傷の発生時に音波が放射される現象を利用して傷を検出する方式(AE法)は、検出感度が高く簡素で安価なシステムを構築できる有望な方式であるが、本事業で開発したプラズマ異常放電監視技術も同じ原理に基づいており、本監視システムをすばる望遠鏡向けの傷検出システムとして利用できる可能性がある。そこで、その適用可能性を具体的に明らかにすることを目標として原理検証実験を実施した | | | |