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| 平成11年度事業開始
熊本県 「超精密半導体計測技術開発」 pp.53-54 |
| | [PDF (22K)] |
 | 超精密高速ステージ開発
ステージ軽量化技術開発(その2: 次世代30m級天体望遠鏡用鏡材の開発)
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| | 森山 司朗1), 佐々木 俊一1), 廣瀬 正孝1), 石井 守2), 梅津 基宏2) |
| 1) (株)日本セラテック
2) 太平洋セメント(株) |
| | Abstract ゼロ膨張材セラミック素材ＺＰＦを鏡の素材として用いる可能性の検討と開発 |
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| Copyright (c) 2005 独立行政法人 科学技術振興機構 |
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