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平成11年度事業開始
熊本県 「超精密半導体計測技術開発」
pp.52-53
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超精密高速ステージ開発
ステージ軽量化技術開発
森山 司朗
1)
, 佐々木 俊一
1)
, 廣瀬 正孝
1)
, 石井 守
2)
, 梅津 基宏
2)
, 小坂 光二
3)
, 岩淵 哲也
3)
, 東町 高雄
4)
1) (株)日本セラテック
2) 太平洋セメント(株)
3) (有)熊本テクノロジー
4) (財)くまもとテクノ産業財団
Abstract
H14年度開発製作したアルミナステージ重量をH15年度1/2 H16年度1/3以下とするステージ軽量化技術開発
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Copyright (c) 2005 独立行政法人 科学技術振興機構
