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| 平成11年度事業開始
熊本県 「超精密半導体計測技術開発」 pp.51-52 |
| | [PDF (21K)] |
 | | | 宮田 昇1), 山川 孝宏1), 松野 晋1), 渡辺 雅幸1), 萬矢 晃庸1), 小坂 光二2), 岩淵 哲也2) |
| 1) 太平洋セメント(株)
2) (有)熊本テクノロジー |
| | Abstract 300mmストローク超精密セラミックステージを高速かつ高分解能で駆動させる非共振型超音波モータの開発。 |
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