 | 超精密高速ステージ開発
ステージ制御応用技術開発(その2: 半導体電気計測のためのナノプローブ技術の開発)
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| | 中田 明良1), 小坂 光二2), 小坂 哲也2), 岩渕 哲也2), 馬場 哲郎2), 加納 竹志2), 荒尾 淳3), 井上 知行3), 岩根 宏3), 前田 安浩3), 高木 宏司3) |
| 1) 熊本大学工学部
2) (有)熊本テクノロジー
3) (株)アラオ |
| | Abstract 現在一般的に使用されている半導体デバイス計測用のプローブ装置は光学顕微鏡下での操作のため位置決め分解能が数μm台であり、またプローブがデバイスのサイズに対して粗大であったため、微細デバイスの端子に直接プローブすることができなかった。本研究開発の目的は、半導体ウエハ上に形成されるデバイス自身の複数の端子に、金属電極パッドを形成することなく、パッドフリーで直接コンタクト可能なナノプローブ技術を開発することである。 |
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