 | | | 小坂 光二1), 馬場 哲郎1), 岩渕 哲也1), 江頭 義也1), 森園 靖治2), 須川 成利3), 平山 昌樹3), 井上 知行4), 高木 宏司4), 山川 孝宏5), 松野 晋5), 渡辺 雅幸5), 宮田 昇5), 萬矢 晃庸5), 永本 恵一2), 大石 潔6), 森山 司朗7), 佐々木 俊一7), 橋本 誠司8), 井戸 泰男9), 坂本 博宣9) |
| 1) (有)熊本テクノロジー
2) 熊本大学
3) 東北大学
4) (株)アラオ
5) 太平洋セメント(株)
6) 長岡総合技術大学
7) (株)日本セラテック
8) 群馬大学
9) 熊本県工業技術センター |
| | Abstract 300mmストローク超精密セラミックステージ及びそれを高速かつ高分解能で駆動させる非共振型超音波モータの開発。 |
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