JST200303 : 平成10年度事業開始<BR>宮城県　「生体機能再建・生活支援技術　−機能的電気刺激システムを中核とする最先端リハ・福祉システムの構築と新産業の創出−（その１）」 pp.94-95

FESを支える生体情報センサの開発
多元情報感温感圧センサシステム／積層型感温感圧複合センサの構築に関する研究

三寺正雄¹⁾, 丹羽英二¹⁾, 小野寺隆視¹⁾, 板垣喜一²⁾, 菅原孝則³⁾, 矢野健⁴⁾

1) 財団法人みやぎ産業振興機構
2) 株式会社東栄科学産業
3) 有限会社豊洋電子精機
4) 財団法人電気磁気材料研究所

Abstract
本研究は、FESを支える生体情報センサに必要な基本技術のひとつとして、Fe-Pd合金薄膜およびCr-N合金薄膜を複合化する新薄膜素子を用いてロボット、義手·義足および人体装着型補助具などに応用可能な感温感圧複合センサ（温度検知機能付触覚センサ）を構築することを目的として行われた。財団法人電気磁気材料研究所が開発したFePd基薄膜およびCr-N薄膜は、それぞれ温度感度が高く圧力感度が低いことおよび圧力感度が高く温度感度が低いことを特徴とする。これらの複合化により、超小型·高精度の圧力温度センサが構築可能となる。基本的な構成要素として、並列型、２次元分布型および積層型の開発を進め、その応用先である医療·福祉用ロボット、義手·義足ならびに人体装着型補助具などの温度検知機能付触覚センサへの実用化を検討した。