JST200303 : 平成9年度事業開始<br>大阪府　「テラ光情報基盤技術開発」 pp.90-95

2次元超微細加工による高機能光学素子の開発

菊田久雄¹⁾

1) 大阪府立大学

Abstract 研究の取り組みは、大きく3つに分けることができる。第一は、高速パターン識別用空間位相フィルタをはじめとする光情報システム用の複合機能光学素子の試作、第二は、微細構造をもつ光素子の作製技術開発、および高効率回折光学素子やサブ波長構造光学素子の試作、第三は、それらを支えるシミュレータソフトや微細構造のパターンニング技術などの基盤技術開発である。