 | 機能性薄膜のデバイス応用とデバイス製造・評価装置の開発
液晶、PDPパネル基板用マーキング装置の開発
|
| | Abstract 現在、液晶パネルやPDPパネルの製造工程では、製造管理、製品管理の目的でガラス基板にバーコードや2次元コード等のマーキングを行っている。これらパネル用ガラス基板のうち、カラーフィルタ用ガラス基板に対しては、フォトレジストへの露光によるマーキング法が一般に採用されている。しかし、従来方法では、フォトリソグラフィ工程中にコードが形成されていないので工程初期から製造管理ができないという課題がある。また、フォトリソグラフィ工程の条件が変わると、コードマークの形状が変わるので微細なコードマーキングが難しいという問題点がある。さらに、カラーフィルタ用ガラス基板にYAGレーザー等でマーキングすると、マーキング時にパーティクルが発生し、製品の歩留りが低下するという問題点がある。そこで、本委託試験では、これらを解決するため新たにレーザーマーキング装置の開発を行い、製造工程初期から管理でき、しかもフォトリソグラフィ工程に影響されず、パーティクルの発生しないコードマーキング技術を確立するものである。
本マーキング装置により、工程の初期から製造管理が可能になり、液晶、PDP製造の歩留まり向上に貢献することができ、ガラス基板のパネル単位での管理が可能となる。 |
| | | |
