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平成9年度事業開始
福岡県　「新光・電子デバイス技術基盤の確立 −新光・電子デバイスの開発による計測・制御・情報技術の創成−（別添）」  417-426
機能性薄膜のデバイス応用とデバイス製造・評価装置の開発
チタン酸バリウム薄膜の開発
福岡県工業技術センター 機械電子研究所 , 福岡県工業技術センター 化学繊維研究所

1) K. Iijima et al., Appl. Phys. Lett., 56, 527-29 (1990).
2) M. N. Kamalasanan et al., Appl. Phys. Lett., 59, 3547-49 (1991).
3) M. Kuwabara et al., Appl. Phys. Lett., 62, 3372-74 (1993).
4) T. Hayashi et al., Jpn. J. Appl. Phys., 33, 5277-80 (1994).
5) P. C. Joshi and S. B. Desu, Thin Solid Films, 300, 289-94 (1997).
6) H. Shimooka et al., J. Sol-Gel Sci. and Technology, 13, 873-76 (1998).
7) H. Matsuda et al., J. Am. Ceram. Soc., 81, 3010-12 (1998).
8) H. Shimooka and S. Kohiki, J. Ceram. Soc. Japan, 106, 703-708 (1998).