 | 機能性薄膜のデバイス応用とデバイス製造・評価装置の開発
次世代高精細ディスプレイ向け電界放出素子の開発
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| | | Abstract 次世代ディスプレイとして、微小真空技術を利用した電界放出素子を用いて画素を発光させる、マルチエミッター型薄型ディスプレイが注目されている。電界放出素子には、シリコンのほか、負性電子親和力を有するとされるダイヤモンドの利用が検討されている。しかし、ダイヤモンドからの電子放出機構は十分には解明されていない。本研究では、シリコン系電界放出素子、及びダイヤモンド系電界放出素子の電気特性が素子の構造、電気的性質とどのように関係するのかを明らかにし、電界放出素子製造工程への指針を提示する事を目的とする。
電界放出素子の電子放出特性と素子の構造、材料物性との関係が解明されると、高効率で信頼性の高い電界放出素子を用いた次世代高精細ディスプレイ製造手法の指針を与えることができると考えられる。 |
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