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平成9年度事業開始
福岡県 「新光・電子デバイス技術基盤の確立 −新光・電子デバイスの開発による計測・制御・情報技術の創成−（別添）」
394-396
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機能性薄膜のデバイス応用とデバイス製造・評価装置の開発
友景 肇
1)
1) 福岡大学
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