JST200303 : 平成9年度事業開始<br>福岡県　「新光・電子デバイス技術基盤の確立 −新光・電子デバイスの開発による計測・制御・情報技術の創成−（別添）」 256-261

平成9年度事業開始
福岡県　「新光・電子デバイス技術基盤の確立 −新光・電子デバイスの開発による計測・制御・情報技術の創成−（別添）」 256-261

光機能性無機材料の開発
光機能性ガラス材料
極紫外用光学部材の開発
極紫外用光学ガラス部材の開発

Michael Muller¹⁾, 藤野茂¹⁾, 森永健次¹⁾

1) 九州大学大学院総合理工学研究院

Abstract 本研究では極紫外用光学部材としてガラス部材および単結晶材料の開発を行なった。ガラス材料に関してはBeF₂-AlF₃ガラスのガラスを作製し、真空紫外領域における透過率、ならびに屈折率を測定し、その組成依存性を明らかにした。157nmにおける透過率は60%を示した。更なる透過率の向上を達成するためには、出発原料BeF₂に含有されるOH基およびFeの含有量を極力低減することが重要であることが明らかとなった。