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平成13年度シンポジウム 分子複合系の構築と機能  47-47
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光照射による薄膜表面への微細パターン形成
福田 隆史1), 松田 宏雄1)
1) 産総研 光技術
アゾベンゼンを含む有機薄膜に光を照射することによって物質移動が誘起され、薄膜表面にμm∼nmスケールの凹凸を可逆的に形成できる現象(以下、光誘起表面レリーフ[PSR]の形成と呼ぶ)が近年報告され、基礎科学·応用工学の両面から非常に注目を集めている。形成される表面凹凸形状は照射ビームの幾何形状と偏光状態に応じて任意に変えることが出来る。図1に示すパターンはその一例である。凹凸の深さは照射光の強度(密度)および照射時間によって正確にコントロール可能であり、また、形成された凹凸は熱や光によって消去が可能である。我々はナノ微結晶の配向制御やパターニングを可能とするため、上述の光誘起表面レリーフ形成現象についてその可能性を検討している。

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